Book	PreJuSER-136141

http://join2-wiki.gsi.de/foswiki/pub/Main/Artwork/join2_logo100x88.png Großflächige Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium für mikromorphe Dünnschichtsolarmodule

Kilper, T. (Corresponding author)

2009
Forschungszentrum Jülich, Zentralbibliothek, Verlag Jülich

Please use a persistent id in citations: http://hdl.handle.net/2128/3625

Abstract: Diese Arbeit beschäftigte sich mit Aspekten der Herstellung von μc- Si:H Absorberschichten, die von hoher technologischer Relevanz für die industrielle Serienproduktion von mikromorphen Silizium-Dünnschichtsolarmodulen sind. Im Zentrum der durchgeführten Untersuchungen standen dabei a) die μc-Si:H Absorberschicht-Abscheidungsrate, b) „Niedriggasfluss“-Prozesse, welche einen hohen Monosilan-Ausnutzungsgrad und einen deutlich reduzierten Wasserstoff-Verbrauch aufweisen und c) der Einfluss von Sauerstoff- und Stickstoff-Verunreinigungen in μc-Si:H Absorberschichten auf die Zellperformance.

Note: Record converted from JUWEL: 18.07.2013

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Contributing Institute(s):

1. Photovoltaik (IEF-5)

Appears in the scientific report 2013

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Database coverage:

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