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Großflächige Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium für mikromorphe Dünnschichtsolarmodule



2009
Forschungszentrum Jülich, Zentralbibliothek, Verlag Jülich

Jülich : Forschungszentrum Jülich, Zentralbibliothek, Verlag, Schriften des Forschungszentrums Jülich . Reihe Energie & Umwelt / Energy & Environment 37, ()

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Abstract: Diese Arbeit beschäftigte sich mit Aspekten der Herstellung von μc- Si:H Absorberschichten, die von hoher technologischer Relevanz für die industrielle Serienproduktion von mikromorphen Silizium-Dünnschichtsolarmodulen sind. Im Zentrum der durchgeführten Untersuchungen standen dabei a) die μc-Si:H Absorberschicht-Abscheidungsrate, b) „Niedriggasfluss“-Prozesse, welche einen hohen Monosilan-Ausnutzungsgrad und einen deutlich reduzierten Wasserstoff-Verbrauch aufweisen und c) der Einfluss von Sauerstoff- und Stickstoff-Verunreinigungen in μc-Si:H Absorberschichten auf die Zellperformance.

Classification:

Note: Record converted from JUWEL: 18.07.2013

Contributing Institute(s):
  1. Photovoltaik (IEF-5)

Appears in the scientific report 2013
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 Record created 2013-07-18, last modified 2020-07-09


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