Home > Institute Collections > IEK > IEK-5 > Großflächige Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium für mikromorphe Dünnschichtsolarmodule |
Book | PreJuSER-136141 |
2009
Forschungszentrum Jülich, Zentralbibliothek, Verlag
Jülich
Please use a persistent id in citations: http://hdl.handle.net/2128/3625
Abstract: Diese Arbeit beschäftigte sich mit Aspekten der Herstellung von μc- Si:H Absorberschichten, die von hoher technologischer Relevanz für die industrielle Serienproduktion von mikromorphen Silizium-Dünnschichtsolarmodulen sind. Im Zentrum der durchgeführten Untersuchungen standen dabei a) die μc-Si:H Absorberschicht-Abscheidungsrate, b) „Niedriggasfluss“-Prozesse, welche einen hohen Monosilan-Ausnutzungsgrad und einen deutlich reduzierten Wasserstoff-Verbrauch aufweisen und c) der Einfluss von Sauerstoff- und Stickstoff-Verunreinigungen in μc-Si:H Absorberschichten auf die Zellperformance.
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